哈尔滨工业大学胡鹏程等：位移测量光栅干涉仪综述
中文摘要：
光栅干涉仪是测量精密位移的常用方法。和激光干涉仪相比，光栅干涉仪对空气折射率不敏感且易于实现多自由度测量结构，因此被广泛研究、应用。从光学测量原理角度看，光栅干涉仪历经零差干涉、外差干涉和空间分离式外差干涉3个阶段。与前两者相比，空间分离式外差光栅干涉仪具有能消除光学混叠引起纳米级周期非线性误差的特性，可以获得更高位移测量精度。与此同时，各式各样光栅干涉仪结构被提出，以提高光学细分数、增加量程、提升适用性或实现多自由度位置姿态测量。本文详细总结了近年来增量式位移测量光栅干涉仪的发展，并简述其测量误差相关的研究。关键词：
光栅干涉仪；光学编码器；位移测量；精密测量
作者：
| 胡鹏程，常笛，谭久彬，杨睿韬，杨宏兴，付海金 单位： 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所，中国哈尔滨市，150080；哈尔滨工业大学，超精密仪器技术及智能化工业和信息化部重点实验室，中国哈尔滨市，150080 本文引用格式： https://doi.org/10.1631/FITEE.1800708 |
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Frontiers of Information Technology &Electronic Engineering（简称FITEE，中文名《信息与电子工程前沿（英文）》，ISSN2095-9184，CN 33-1389/TP）是信息电子类综合性英文学术月刊，SCI-E、EI收录，最新影响因子1.033。前身为2010年创办的《浙江大学学报英文版C辑：计算机与电子》，2015年更为现名，现为中国工程院信息与电子工程学部唯一院刊。覆盖计算机、信息与通信、控制、电子、光学等领域。文章类型包括研究论文、综述、个人视点、评述等。现任主编为中国工程院院士潘云鹤、卢锡城，实行国际同行评审制，初次转达意见一般在2~3个月内。文章一经录用将快速在线。
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